ضرورت خلوص: حذف منابع آلودگی برای ساخت تراشه های پیشرفته
تولید ریزتراشه ها، نیمه هادی ها و سایر دستگاه های میکروالکترونیکی پیشرفته به تحویل گازهای تخصصی با خلوص فوق العاده بالا (UHP) متکی است. وجود حتی مقادیر ناچیز اکسیژن، رطوبت یا مواد ذره ای در جریان گاز می تواند منجر به نقص های حیاتی در فرآیند شود و کل دسته های ویفرها را بی فایده کند. در این محیط پر تقاضا، خود ماده لوله کشی باید منبع تضمین شده ای از خلوص باشد، نه آلودگی. سازمان ما در تامین لوله های استیل ضد زنگ تخصص دارد که پردازش شده و گواهی شده اند تا استانداردهای UHP مطلق مورد نیاز صنعت نیمه هادی را برآورده کنند و از تحویل گاز بی عیب و نقص و عاری از آلودگی که برای مرزهای فناوری حیاتی است، اطمینان حاصل کنند.
فرآیند چند مرحله ای برای آمادگی UHP
دستیابی به وضعیت UHP در لوله کشی استیل ضد زنگ مستلزم کنترل دقیق بر کل زنجیره تامین، از کارخانه تا بسته بندی نهایی است:
مواد پایه ممتاز (VAR/VIM): ما بر روی گریدهای استیل ضد زنگ (عمدتاً 316L) تمرکز می کنیم که اغلب از طریق ذوب القایی خلاء (VIM) یا ذوب مجدد قوس خلاء (VAR) تولید می شوند. این تکنیک های ذوب پیشرفته، ناخالصی ها و ذرات غیر فلزی را در ساختار فولاد از بین می برند و احتمال گاززدایی یا ریزش ذرات را در مراحل بعدی کاهش می دهند.
آماده سازی جوشکاری مداری دقیق: لوله UHP با انتهای برش مربع، بدون پلیسه عرضه می شود که با دقت تمیز شده و برای جوشکاری مداری خودکار آماده شده است. این تکنیک جوشکاری یک مهره جوش داخلی بسیار صاف و یکنواخت ایجاد می کند و شکاف های داخلی یا نقاط زبری را که آلاینده ها می توانند در آن جمع شوند یا ذرات می توانند تولید شوند، از بین می برد.
پرداخت مکانیکی و شیمیایی (سطح داخلی): سطح داخلی لوله های UHP اغلب به صورت مکانیکی یا شیمیایی پرداخت می شود تا به یک سطح آینه ای (به عنوان مثال، Ra $leq 0.1 mutext{m}$ ) دست یابد. این سطح فوق العاده صاف، سطح موجود برای جذب گاز (گاززدایی) را به حداقل می رساند و اطمینان حاصل می کند که ذرات نمی توانند بچسبند، و تمیز کردن و خشک کردن سریع داخل لوله را تسهیل می کند.
تمیز کردن و غیرفعال سازی نهایی: لوله ها تحت فرآیندهای تمیز کردن داخلی دقیق قرار می گیرند، که اغلب شامل شستشوی آب با خلوص بالا و غیرفعال سازی کنترل شده (طبق ASTM A380/A967 با استفاده از مواد شیمیایی با خلوص بالا) برای تثبیت لایه غیرفعال و حذف هرگونه باقیمانده نهایی است.
بسته بندی اتمسفر کنترل شده: پس از تمیز کردن، لوله ها بلافاصله با نیتروژن یا آرگون با خلوص بالا شسته می شوند و به صورت جداگانه در درپوش های محافظ و پلاستیک های دو کیسه ای در شرایط اتاق تمیز مهر و موم می شوند. این امر از آلودگی جوی (رطوبت و اکسیژن) در حین حمل و نقل و ذخیره سازی جلوگیری می کند و یکپارچگی UHP را تا زمان نصب حفظ می کند.
یک سخنگوی سازمانی اظهار داشت: "در ساخت نیمه هادی ها، لوله کشی سیستم تصفیه نهایی برای گاز است و عدم رعایت استانداردهای UHP به معنای شکست ریزتراشه است." "تعهد ما به لوله کشی استیل ضد زنگ UHP تضمین می کند که گازهای فرآیند حیاتی عاری از آلودگی ذرات، رطوبت و هیدروکربن باقی می مانند و از یکپارچگی و نرخ بازده تولید میکروالکترونیک با ارزش بالا محافظت می کنند."
کاربرد در اتاق های تمیز و تاسیسات پیشرفته
این لوله های تخصصی برای موارد زیر ضروری هستند:
خطوط اتصال ابزار: اتصال منیفولد گاز مرکزی به ابزارهای رسوب و اچ در داخل یک اتاق تمیز.
منیفولدهای گاز منبع: انتقال هیدروژن، نیتروژن و گازهای دوپینگ تخصصی با خلوص بالا.
سیستم های آب با خلوص بالا (PW/WFI): اطمینان از مسیرهای غیر لیچینگ و غیر خورنده برای آب فرآیند.
با پایبندی به این استانداردهای دقیق UHP، ما از فرآیندهای تولیدی که از نظر فناوری بیشترین تقاضا را در سطح جهانی دارند، پشتیبانی می کنیم، جایی که کیفیت مواد مستقیماً قابلیت دوام محصول را دیکته می کند.
درباره سازمان ما
ما یک تامین کننده جهانی مورد اعتماد هستیم که در انتخاب گسترده ای از لوله ها، اتصالات و فلنج های فلزی، از جمله محصولات استیل ضد زنگ و برنج تخصص داریم. ما با تعهد به کیفیت، قابلیت اطمینان و رضایت مشتری، از زیرساخت های پیچیده و پروژه های صنعتی در سراسر جهان پشتیبانی می کنیم.
تماس با شخص: Ms.
تلفن: 13524668060